真空钎焊炉的主要结构

 真空钎焊炉的主要结构

　真空钎焊炉主机为卧式、单室内加热结构，由炉体、加热室、真空系统、风冷系统、充气系统、分压系统、水冷系统、电气控制系统等组成。

　1、真空炉主体

　真空炉主体由炉体和加热室构成。炉壳、炉门、电机罩的壳体均由双层筒体、双层椭圆形封头及法兰用气密性焊缝焊成。双层筒体间为水道，内通冷却水。炉盖采用锁紧圈锁紧结构。加热室设计成圆筒形，由框架和石墨毡组成隔热屏。

　2、加热系统

　加热系统包括加热电源、温控系统及加热元件。加热电源选用磁性调压器，其电压调节由直流激磁来控制，按不同的控制信号实现闭环自控，直流激磁电源由双向晶闸管控制。温控仪表具有自整定功能，热电偶将电炉内部的温度转换成电信号，将检测到的炉温当前值与设定值之差，经PID运算后作为输出信号，控制双向晶闸管的导通角，从而有效地控制加热元件的平均加热功率，使得炉温与设定的加热曲线相吻合。加热元件为18根石墨管，采用三角形接法，沿热区圆周均匀分布，以提供良好的炉温均匀性。加热元件通过3个水冷电极与外部接线联接。

　3、真空系统

　机组主泵为KT-500型扩散泵，前级泵为ZJ-600型罗茨泵和2X-70型旋片式机械泵。分别配有高真空阀、主路阀、旁路阀及与机械泵联动的电磁压差阀。机械泵为粗真空装置，机械泵的后一级串有罗茨泵，罗茨泵具有较高的抽气速率，因此可以将真空系统抽到较高的真空度；但只有在被抽系统中的压力达到罗茨泵允许入口压力时，罗茨泵才能开始工作，否则将会因过载和过热而损坏。扩散泵为高真空装置，它是通过将真空系统中的气体分子向高速油蒸汽射流中扩散，并由前级泵排至空气中，完成抽气动作。

　4、风冷系统

　　在真空炉主体的后部，装有1台三相异步电动机，气体由热交换器降低温度后经导流罩、进气口、叶轮通过隔热门进入炉内工作区，再返回散热器，实施循环冷却。

　5、水冷系统

　水冷系统由不锈钢截止阀、进水口、排水箱、水压电接点压力表等组成。进水口设有63.5mm(5in)不锈钢球阀、排水口设有101.6mm(4in)法兰，只需与用户循环水系统接口连接即可。

　6、分压系统

　分压系统由电磁真空充气阀、可调节针阀等组成。在铜钎焊过程中需要分压控制时可充入高纯氮气或氩气，分压范围控制在5~500Pa。

　7、充气系统

　充气系统由大通径充气截止阀、集气汇流排、真空电接点压力表等组成。