真空热处理炉快速泄漏的理论分析

 　　真空热处理炉快速泄漏的理论分析

　　真空度快速下降，一般不用多考虑，肯定存在泄漏点。快速泄漏原因的查找较微量泄漏容易的多，应用理论分析的方法就可解决问题，最多辅之以简易的检漏方法，就可以找到泄漏点。理论分析的基础是数据，没有真实、详细的数据是无法进行理论分析的。当真空热处理炉的真空度出现异常时，要详细观察真空度下降的过程、真空度下降前后设备的工作情况、设备上各指示仪表的数据变化情况，包括回充气压力表的变化情况，这些数据是进行理论分析的重要依据。有时候依据数据变化情况进行理论分析甚至可以直接找到泄漏点。下面举两个应用理论分析找到泄漏点实际例子。

　　某设备有一次在正常工艺运行的过程中，真空炉加热区的真空度突然快速下降，观察淬火区的真空度基本正常没有变化，当加热区的真空度低于淬火区的真空度后，加热区的真空度仍然下降，淬火区的真空度还是正常没有大的变化，派设备操作者检查设备上加热区真空泵的工作情况，回报都工作正常。工艺过程是在回充气的过程中发生的，立即让设备操作者去检查回充气储罐的压力表变化情况，回充气储罐的压力在连续下降，初步确认可能是回充气阀有问题，马上让操作者把储气罐的供气阀关上，这时加热区的真空度开始上升，从而证实了确实是回充气阀泄漏造成的加热区的真空度下降。站在控制室里观察仪表的变化情况，派操作者分头去检查泵和储气罐的变化情况，3min内就把故障排除了。其实当时脑子里还想了很多，首先排除了测量系统的故障，真空规的污染对真空度的影响应该是一个缓慢变化的过程；也不会是真空室内工件表面放气引起的，因它不会产生如此大的脱气量；一定是突发的大漏孔引起的。这种漏孔的泄漏一般不会发生在静密封处，多发生在动密封处，马上想到加热区的动密封有几处，目前的工作状态与哪部分有关，既然是在热区回充气的过程中发生的，那么就是它的问题了。停炉后检修阀门，从根本上解决了问题。再举一个淬火区的真空度的问题。该设备：由主粗机械泵和罗茨泵组成的抽气系统，同时连着热区和冷区，开炉时先由它抽热区，当热区达到一定的真空度时，由它转抽冷区，而这时由前置机械泵和扩散泵组成的抽气系统抽热区。有一次开炉后，先由主粗机械泵和罗茨泵组成的抽气系统抽热区，然后转抽冷区，由前置机械泵和扩散泵组成的抽气系统抽热区。热区的真空度达到了极限真空度，而冷区的真空度达不到要求，检查泵的工作状态都正常，机械泵也定期进行气镇了，初步判断冷区有泄漏，热区的真空度正常，说明不是中间门的问题，如果中间门有泄漏，冷区的真空度反而会提高，因热区的真空度高，前置机械泵和扩散泵组成的抽气系统会帮着抽冷区。从冷区经常活动的部位就只有前门了，初步怀疑前门密封有问题，再者检查前门密封是最容易的，也不需要拆设备，属于正常的维护，停炉更换密封后问题解决了。