高温真空炉连续测温解决方案探讨

 　　高温真空炉连续测温解决方案探讨

　　从高温真空炉的应用出发,阐述了高温真空炉温度测量的重要性。从自动控制的角度出发,说明了高温真空炉内温度连续测量的重要性。介绍了目前常用的高温真空炉温度测量法,并对现有的技术及方法进行了比较,分析了现有技术方法的局限性。通过介绍现有技术及提出新技术的理论分析和实践情况,说明了新方案解决高温真空炉长时间连续测温的可行性及合理性。

　　高温真空炉在现代工业中应用于很多场合,如蓝宝石晶体生长炉、高温烧结炉等。蓝宝石晶体生长炉通过对温度的精确控制来实现从晶体化料、引晶(或将籽晶熔化到合适的范围)、长晶、退火冷却的各个过程控制,晶体只有按合适的冷却速度进行冷却结晶,才能长出高质量的蓝宝石晶体。高温烧结炉要通过对温度的较为准确的控制,才能烧结出高质量的、稳定的烧结产品。因此,高温真空炉内部温度的控制与生产出的产品质量密切相关,对高温真空炉的炉温测量、监控是控制产品质量的重要手段。而在自动化生产的情况下,且对温度的控制精度要求较高时,则要求能对温度进行长时间连续准确的测量,以实现对温度的实时控制。高温真空环境下的长时间(如360h以上)连续准确测量,是一个行业难题,目前为止还没有发现这方面的实际应用。